研磨在工业加工生产过程中是一种比较常见的加工工艺，研磨与抛光类似，都是对工件表面进行处理，常见的研磨方法也和抛光类似，有化学和机械两种常见的研磨方法，接下来的要介绍的就是化学研磨和机械研磨这两种常见的研磨方法之间的优缺点。

优点：

1. 化学研磨，化学研磨能够做到表面精度高，对工件的损伤小，并且不容易出现表面和亚表面的损伤，能够保证研磨的完整性。

2. 机械研磨：机械研磨后的工件表面平整度高，有较好的研磨一致性，研磨速度和效率比较快。

缺点：

1. 化学研磨，化学研磨的研磨速率较低，研磨材料去除效率低，不能够做到修正表面型面的精度，无法保持研磨的一致性。

2. 机械研磨，机械研磨容易出现表面和亚表面的研磨损伤，并且研磨出来的工件表面粗糙度比较低。

从上面可以看出来，机械研磨和化学研磨的优缺点其实呈现出一种互补的状态，所以我们想到做到最好的研磨效果，最好的就是使用结合了化学研磨和机械研磨优点的化学机械研磨法。这样方法最重要的一点在于选择合适的化学研磨液，需要大家仔细选择。